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从用作多晶硅还原炉内壁抗氧化、高反射镀层的角度出发，综述了贵金属镀层（包括金和银）、热浸镀铝层、镍基合金与镍基复合镀层，以及物理气相沉积TiN基镀层的反射率和抗高温氧化性能，分析了它们的优缺点，指出了目前存在的问题。
可望用于多晶硅还原炉内壁的抗氧化高反射镀层的研究进展
【摘 要】
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从用作多晶硅还原炉内壁抗氧化、高反射镀层的角度出发，综述了贵金属镀层（包括金和银）、热浸镀铝层、镍基合金与镍基复合镀层，以及物理气相沉积TiN基镀层的反射率和抗高温氧化性
【机 构】
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黄河水电光伏产业技术有限公司,上海理工大学材料科学与工程学院,上海脉诺金属表面处理技术有限公司
【出 处】
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电镀与涂饰
【发表日期】
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2017年16期
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