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针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析。给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明。
HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果(英文)
【摘 要】
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针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,
【机 构】
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北京京东方光电科技有限公司; 北京京东方光电科技有限公司 北京100176; 北京100176; 北京 100176;
【出 处】
：
液晶与显示
【发表日期】
：
2004年期
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