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本文以一款P型功率MOSFET器件为例,利用半导体软件对实际工艺流程进行模拟仿真,为实际工艺优化提供数据参考,可有效缩短器件的开发周期,对类似功率器件研发具有重要的指导意义。
功率MOSFET工艺仿真验证研究
【摘 要】
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本文以一款P型功率MOSFET器件为例,利用半导体软件对实际工艺流程进行模拟仿真,为实际工艺优化提供数据参考,可有效缩短器件的开发周期,对类似功率器件研发具有重要的指导意义。
【机 构】
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沈阳理工大学
【出 处】
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电子技术与软件工程
【发表日期】
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2021年07期
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