强脉冲离子束与新材料工艺

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近几年强脉冲离子束用于材料表面改性和薄膜的研究表明,强脉冲能量效应赋予离子束新的物理性质,非常有希望形成高效率、低成本的新的离子束材料工艺.为此对脉冲功率密度为106~109W/cm2、脉冲宽度<1μs的强脉冲离子束辐照效应、强脉冲离子源及其在材料研究中的应用前景进行了评述. In recent years, the application of strong pulsed ion beams to the surface modification of materials and thin films has shown that the strong pulsed energy effect imparts new physical properties to the ion beam and is very promising for a new ion beam material process with high efficiency and low cost. Therefore, the effect of intense pulsed ion beam irradiation with pulsed power density 106 ~ 109W / cm2, pulse width <1μs, strong pulsed ion source and its application prospects in materials research are reviewed.
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