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粉末冶金靶材的制备与应用
粉末冶金靶材的制备与应用
来源 :中国金属通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gjb
【摘 要】
:
粉末冶金工艺是制备难熔金属、陶瓷和多元合金溅射靶材的重要方法,本文首先对粉末冶金的制备方法进行了总结,并进一步针对靶材的特性分析了粉末冶金制备的控制问题,最后对粉末冶
【作 者】
:
罗俊锋
【机 构】
:
北京有色金属研究总院有研亿金新材料股份有限公司
【出 处】
:
中国金属通报
【发表日期】
:
2011年31期
【关键词】
:
粉末冶金工艺
制备方法
金靶材
应用
难熔金属
溅射靶材
多元合金
控制问题
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粉末冶金工艺是制备难熔金属、陶瓷和多元合金溅射靶材的重要方法,本文首先对粉末冶金的制备方法进行了总结,并进一步针对靶材的特性分析了粉末冶金制备的控制问题,最后对粉末冶金靶材的主要应用领域进行了阐释。
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