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与传统的分析方法相比较,文中设计优化了失效分析方案。采用先进的Lightemission、SAM等技术,提高了集成电路失效分析的成功率和准确度。对IC的设计、研究和生产有积极的指导作用。
IC失效分析方法的研究
【摘 要】
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与传统的分析方法相比较,文中设计优化了失效分析方案。采用先进的Lightemission、SAM等技术,提高了集成电路失效分析的成功率和准确度。对IC的设计、研究和生产有积极的指导
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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电子测量技术
【发表日期】
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2006年04期
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