【摘 要】
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随着大型激光器的发展,对短波段减反膜的要求日益提高,其中钕玻璃激光三倍频(355nm)的减反射成为新的技术要点.采用溶胶-凝胶工艺合成SiOz溶胶,采用提拉镀膜法制备纳米多孔Si
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随着大型激光器的发展,对短波段减反膜的要求日益提高,其中钕玻璃激光三倍频(355nm)的减反射成为新的技术要点.采用溶胶-凝胶工艺合成SiOz溶胶,采用提拉镀膜法制备纳米多孔SiOz薄膜,薄膜厚度为75nm,折射率控制在1.22,镀制在石英基底上的薄膜其355nm波长的反射率仅为0.2%.通过氨处理工艺和薄膜的表面修饰,薄膜的抗磨擦性能和疏水性能大大提高,薄膜经过蘸有灰尘、乙醇的棉花球擦洗20次和50次后,透射率最大值仅分别降低0.13%和0.39%,与水珠的接触角达到110°.
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