微机监控光学膜厚方法的实验研究

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mike595959
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作者设计和制作了膜厚自动监控系统。利用该系统能准确控制λ/4膜层的极值厚度,其误差<3%。该方法快速、有效、成本低廉,易于推广应用。实验结果表明,研究方法是成功的。 The author designed and produced a film thickness automatic monitoring system. The system can accurately control the thickness of λ / 4 film, the error is less than 3%. The method is rapid, effective, low cost and easy to popularize. The experimental results show that the research method is successful.
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