【摘 要】
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分子/增压泵是一种最近实现产品化的新一代真空泵,该泵兼有中、高真空泵的性能,能耗低,能获得清洁真空,还能承受大气冲击,应用前景十分广泛。本文详细介绍了分子/增压泵的结
【机 构】
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深圳大学理学院 广东深圳518060
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分子/增压泵是一种最近实现产品化的新一代真空泵,该泵兼有中、高真空泵的性能,能耗低,能获得清洁真空,还能承受大气冲击,应用前景十分广泛。本文详细介绍了分子/增压泵的结构、性能和应用,并与常用的中、高真空泵作比较。最后,介绍了分子/增压泵的一种独特应用——“大型真空设备的冲洗抽气法”,该方法将抽气时间缩短至50%,能耗降至10%~25%。
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