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研制的质子束流测量系统，本底电流仅为１０＾－１４Ａ量级，可测最大电流达ｍＡ量级。在质子单粒子效应实验中，测得了ｐＡ量级的质子束及其随时间变化的关系，为半导体体器件粒子翻转截面的计算提供了必需的数据。
pA量级质子束流测量系统
【摘 要】
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研制的质子束流测量系统，本底电流仅为１０＾－１４Ａ量级，可测最大电流达ｍＡ量级。在质子单粒子效应实验中，测得了ｐＡ量级的质子束及其随时间变化的关系，为半导体体器件粒子翻转截面的计算提供了必需
【机 构】
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西北核技术研究所,西安交通大学微电子工程系
【出 处】
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核电子学与探测技术
【发表日期】
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2000年1期
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