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介绍了ＣＺ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理。
CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统
【摘 要】
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介绍了ＣＺ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统的硬件结构和软件设计原理。
【机 构】
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西北纺织工学院,西安理工大学
【出 处】
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机电工程
【发表日期】
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1999年2期
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