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本文采用有限元法建立了KDP晶体线锯切割的仿真模型，仿真分析了切割过程中晶体内部应力场分布的变化规律。结果表明，线锯切割加工过程应力变化整体平稳，属低应力锯切方式，当晶体即将切断时，最大拉应力显著增加；随着被加工材料的去除，晶体初始内应力释放，晶体内部距离待加工表面越近的点，切割过程中应力变化越剧烈；锯切切口处，锯切应力与内应力相互耦合，应力集聚，并且晶体初始内应力越大，应力集聚越明显，晶体切割开裂几率越大。仿真结果为保证KDP晶体线锯切割加工过程中避免开裂提供了理论基础。