论文部分内容阅读
对各种磁控溅射的工艺参数控制技术进行比较,分析各自的特色,并指出光学厚度监控对于制备精密光学多层膜的反应溅射工艺的重要性.
磁控溅射工艺控制模式比较
【摘 要】
：
对各种磁控溅射的工艺参数控制技术进行比较,分析各自的特色,并指出光学厚度监控对于制备精密光学多层膜的反应溅射工艺的重要性.
【机 构】
：
中南实业国际(深圳)有限公司(MT8广东深圳)
【出 处】
：
第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
：
2001年11期
其他文献
企业社会责任问题已引起国际社会的广泛关注。企业承担社会责任不仅成为企业的一种外在约束，也成为企业应对国际市场竞争的重要手段。企业要把履行社会责任作为历史使命，要高度
2005年5月30日和6月8日,韩国环境部和气象厅分别举行了"韩国气候变化专门委员会"(Korean Panel on Climate Change,KPCC)成立大会,韩国环境部长官郭决镐和气象厅厅长申庆燮参
期刊
新中国成立以来,中国共产党人对发展的认识经历了一个不断发展的历史过程。从毛泽东到胡锦涛,他们各自的发展观代表了中国共产党人对发展问题的看法,并且各有自己的特色与继
中国改革开放30年的伟大成就是我们党带领全国人民在对"什么是社会主义、怎样建设社会主义,建设什么样的党、怎样建设党,实现什么样的发展、怎样发展"等问题的不断思考中,在
在多位教授的引领下，全科医生和研究人员孜孜不倦地探索创新，在内分泌基础与临床研究方面，取得了一系列丰硕成果。至今，北京协和医院内分泌科共获国家科技进步奖6项，卫生部科技进
随着人们对生活环境的关注，生存危机意识的增强，要求改善水环境的呼声日益高涨。传统的高密度水产养殖方法会将大量的残饵和粪便排入水体，导致养殖尾水污染日益严重。水产养殖尾水如得不到及时有效地处理，会恶化养殖水域环境，导致养殖动物的暴发性疾病，甚至大面积死亡，使养殖产品质量和产量大幅下降。因此，引用推广效益稳定、环境友好的水产养殖模式和养殖废弃物处理方式，对我国水产养殖健康、可持续发展具有重要的现实意义
构建社会主义和谐社会为民主党派提供了更广阔的舞台和发展空间,也赋予民主党派更大的责任和历史使命。民主党派要充分发挥自身在构建和谐社会中的独特优势和不可替代的作用,
中青年民主党派成员的思想工作是当前民主党派工作的重点和难点。本文通过对黑龙江省中青年民主党派成员的基本情况、心理结构及换届过程中表现出的思想特点的调查与研究,提
巨桉,属桃金娘科,桉属,巨桉种,强阳性植物,喜光不耐阴,原产于澳大利亚,1980年我国大量引进后,广泛种植于四川、广西、温州、云南、湖北和海南等热带地区,在温暖湿润气候条件