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激光调阻机用于对片式电阻阻值进行微调,其调阻精度主要取决于扫描镜头的光学聚焦性能。根据实际使用需求,本文设计了两组不同工作波长(1 064 nm和532 nm)的F-Theta扫描镜头,视场角分别为±28°和±25°;聚焦光斑直径分别为30μm和10μm。最终设计结果表明:两组镜头像散值在像差容限范围内,满足平像场要求;F-Theta相对畸变均小于0.1%;光能利用率达到90%以上;聚焦性能接近衍射极限。两组镜头结构简单紧凑,方便互换与装卡,能够满足激光调阻要求。