【摘 要】
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最近,日本三菱电机公司开发了在机械零件表面蒸镀优质陶瓷薄膜技术,从而提高了机械零件的耐磨损性、耐热性及润滑性。过去,在真空中只采用二氧化碳气体激光照射蒸镀法,不仅
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最近,日本三菱电机公司开发了在机械零件表面蒸镀优质陶瓷薄膜技术,从而提高了机械零件的耐磨损性、耐热性及润滑性。过去,在真空中只采用二氧化碳气体激光照射蒸镀法,不仅要将基片加热到250℃以上的温度,而且涂上去的蒸镀膜极易剥落。现在,
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