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期刊论文
微型零件三维几何尺寸测量系统
微型零件三维几何尺寸测量系统
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qwaer
【摘 要】
:
介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理,测量中的关键技术,对该系统进行了实测,实验结果表明:x,y重复测量精度为±0.005μm,z方向测量精度为5nm。
【作 者】
:
徐毓娴
李庆祥
白立芬
于水
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1996年S1期
【关键词】
:
三维几何尺寸
微型零件
测量系统
测量精度
光学系统
显微物镜
纳米技术
摄象机
自动调焦系统
显微系统
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介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理,测量中的关键技术,对该系统进行了实测,实验结果表明:x,y重复测量精度为±0.005μm,z方向测量精度为5nm。
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