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因LED测试芯片经过切割、崩裂、扩张后其上的晶粒会产生很大变形,产生很多空点和排列不规则的点。LED探针台使用面阵相机对晶圆上的晶粒图像数据采集时,两屏之间存在重叠区域,造成大量重复数据。要短时间内获取到点附于蓝膜上晶粒的精确唯一位置和坐标,需要寻找一种可靠高效的数据处理算法,通过对几种数据处理算法进行研究得出最优算法。