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本文介绍了氮化硅陶瓷对氮化硅粉末烧结原料的特性要求,述评了SiO2还原氮化法、硅亚胺热分解法、高温气相反应法、激光气相反应法和等离子体气相反应法等五种氮化硅粉末的制备新技术。
氮化硅粉末制备新技术
【摘 要】
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本文介绍了氮化硅陶瓷对氮化硅粉末烧结原料的特性要求,述评了SiO2还原氮化法、硅亚胺热分解法、高温气相反应法、激光气相反应法和等离子体气相反应法等五种氮化硅粉末的制
【机 构】
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山东工业陶瓷研究设计院
【出 处】
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陶瓷
【发表日期】
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1989年03期
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