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针对光纤法珀（Fabry．Perot，FP）超声波传感器振动特性，将传感器薄板振动简化为具有集中参数的二阶振动，推导二阶振动方程的集中参数（力阻抗、等效质量、弹性系数、集中力），获得传感器共振频率、振幅灵敏度与结构参数设计关系。测试直径2．52mm、厚度150μm玻璃振动薄板在空气、水中的共振频率分别为205kHz及115kHz，水介质中共振频率振幅灵敏度约18μm／Pa。制作的传感器可测试局放产生超声波的最小声压约1Pa。