【摘 要】
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64×64元IRFPA CMOS读出电路是为红外探测器配套使用的数据处理芯片,用于对红外探测器产生的信号进行积分采样并且串行输出.为提高灵敏度及改善信号质量,取样电路的源跟随器
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64×64元IRFPA CMOS读出电路是为红外探测器配套使用的数据处理芯片,用于对红外探测器产生的信号进行积分采样并且串行输出.为提高灵敏度及改善信号质量,取样电路的源跟随器的两个NMOSFET采用了零开启电压;并且采用了双采样结构,用来减小噪声的影响.芯片的数字模块与模拟模块间用电源和电线进行了良好的隔离,减小了相互间的影响.电路工作电压10V,芯片面积5.6×7.9mm2.本文简述了电路功能,重点介绍了该电路的制造工艺,分析了工艺中的重点,即电路采用P型(100)单晶硅衬底、N阱CMOS双层多晶硅双阈值工艺.双层多晶硅用来制作芯片内的电容.第一层多晶硅仅用作电容下极板,第二层多晶硅作电容的上极板、栅和部分连线,为了保证电容值及击穿电压,双层多晶间的介质采用二氧化硅和氮化硅复合层介质等.
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