【摘 要】
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利用镍衬底独特的渗碳一析碳机制，分别引入混合气体氢气和乙炔，使用低压热丝化学气相沉积法（LPHFCVD），在镍衬底上生长石墨烯（Graphene）薄膜。通气时长分别为5s，60s，300s，极大地节省了时
【机 构】
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西北大学微电子研究所、信息科学与技术学院
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利用镍衬底独特的渗碳一析碳机制，分别引入混合气体氢气和乙炔，使用低压热丝化学气相沉积法（LPHFCVD），在镍衬底上生长石墨烯（Graphene）薄膜。通气时长分别为5s，60s，300s，极大地节省了时间和成本。制备的样品分别通过拉曼光谱（Raman），X光电子能谱（XPS），扫描电镜（SEM）等分析表征手段对其结构、形貌、缺陷等进行表征。拉曼光谱表明石墨烯薄膜的D，G，2D峰在不同温度、不同反应时间条件下不同的层数、缺陷密度和结晶质量，其中以950℃，5s的条件制备得到的石墨烯薄膜为1-2层，且缺陷极
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