微机电系统测试技术及方法

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：whb35750

【摘要】

：

微机电系统(MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参

【作者】

：

李智王向军

【机构】

：

天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

微机电系统 MEMS检测技术光电检测计算机视觉检测 MEMS measurement of MEMS MEMS inspection MEMS test c

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微机电系统(MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论.重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨.

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