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飞秒激光烧蚀加工与传统皮秒或纳秒激光加工相比，具有热作用区域小、激光分辨率高，以及能够抑制等离子体的物理屏蔽效应等优势而被广泛应用。基于雪崩电离和多光子电离效应阐述了飞秒激光烧蚀透明电介质材料机理，介绍了飞秒激光烧蚀制备不同微结构件现状，重点综述了近年来国内外飞秒激光微纳加工石英玻璃烧蚀点、烧蚀线和烧蚀面微特征的研究方法和研究进展，对微功能结构件的实际应用情况进行了总结，分析了现阶段飞秒激光在加工透明电介质领域存在的不足，并对该技术的发展进行了展望。