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介绍了微机电传感器自20世纪80年代初期以来发展及应用的现状与趋势.重点讨论了微机电惯性传感器在国际上的先进水平和国内的研究成果,以及军民两用领域的应用前景.最后提出了进一步研究的方向.
微机电传感器发展及应用的现状与趋势
【摘 要】
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介绍了微机电传感器自20世纪80年代初期以来发展及应用的现状与趋势.重点讨论了微机电惯性传感器在国际上的先进水平和国内的研究成果,以及军民两用领域的应用前景.最后提出
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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2003年11期
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