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综述了微型传感器及内米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。
微型传感器及纳米传感器
【摘 要】
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综述了微型传感器及内米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。
【机 构】
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电子工业部第二十四研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1998年3期
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