Effects of Low-Frequency Source on a Dual-Frequency Capacitive Sheath near a Concave Electrode

来源 :等离子体科学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ks00459

【摘要】

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A self-consistent two-dimensional(2D) collisionless fluid model is developed to simulate the effects of the low-frequency(LF) power on a dual frequency(DF) capa

【作者】

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郝美兰戴忠玲王友年

【机构】

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DepartmentofPhysicsandElectronicEngineering,SchoolofPhysicsandOptoelectronicTechnology

【出处】

：

等离子体科学与技术：英文版

【发表日期】

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2014年4期

【关键词】

：

极低频双频率离子能量分布电极容性径向电场电容式套管模型开发 capacitively coupled plasma sheath fluid

【基金项目】

：

supported by Handan Science and Technology Research and Development Project of China （No. 1121120069-5） and the Scientific Research Start-up Funds of Doctor and Master of Handan College of China （No.

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