生长模式控制对MOCVD生长GaN性能的影响

来源 :华南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：a873322604

【摘要】

：

采用MOCVD以Al2O3为衬底对GaN生长进行了研究.用X射线双晶衍射、电化学CV技术对GaN的结晶性能和电学性能进行了表征.研究表明,GaN的生长模式对其电学性能和结晶性能影响很大.

【作者】

：

李述体范广涵周天明孙慧卿郑树文郭志友

【机构】

：

华南师范大学光电子材料与技术研究所

【出处】

：

华南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

半导体 GaN MOCVD X射线双晶衍射 ECV

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用MOCVD以Al2O3为衬底对GaN生长进行了研究.用X射线双晶衍射、电化学CV技术对GaN的结晶性能和电学性能进行了表征.研究表明,GaN的生长模式对其电学性能和结晶性能影响很大.在高温GaN生长初期,适当延长GaN的三维生长时间,能明显改善GaN薄膜的结晶性能,降低薄膜的缺陷密度和本底载流子浓度,使GaN质量明显提高.

其他文献

利培酮口服液合并丙戊酸钠缓释片治疗老年躁狂症临床效果探讨

目的探讨利培酮口服液合并丙戊酸钠缓释片治疗老年躁狂症的临床效果。方法 61例老年躁狂症患者作为研究对象,按照随机分配法将其分为研究组(31例)与对照组(30例)。对照组给予

期刊

利培酮口服液老年躁狂症丙戊酸钠缓释片临床效果

从人际功能的视角研究戏剧《雷雨》的称呼语英译

《雷雨》中的称谓方式有亲属称谓、姓名称谓、通称、昵称和贬称。从功能语言学人际功能的角度出发,可以探讨这些称呼语是否如实再现原文所建立的人际关系。分析证明《雷雨》

期刊

人际功能称呼语《雷雨》

以循证理念为指导的整体护理在老年冠心病无痛性心肌缺血患者中的应用效果观察

目的探讨以循证理念为指导的整体护理在老年冠心病无痛性心肌缺血患者中的应用效果。方法选取2015年1月至2017年2月我院收治的老年冠心病无痛性心肌缺血患者94例,采用随机

期刊

冠心病无痛性心肌缺血循证理念整体护理

沙发造型百图(一)

千姿百态,形象各异的沙发造型百图对开阔设计者思路,供生产单位和制作者借鉴,从而丰富造型款式,活跃市场均有一定的价值。沙发造型百图对舞台美术设计工作者,室内装潢设计工

期刊

沙发坐具

利培酮联合丙戊酸钠治疗精神分裂症攻击行为的疗效及安全性观察

目的探讨利培酮联合丙戊酸钠治疗精神分裂症攻击行为的疗效及安全性.方法选择2014年2月- 2015年8月收治的60例精神分裂症伴有攻击行为患者进行临床随机对照研究, 其中30例

期刊

利培酮丙戊酸钠精神分裂症攻击行为安全性

丰富的造型优美的韵律——略论现代沙发造型的特点

丰富与新颖感——陪衬装饰的手法英国经验派美学家哈奇生认为:“如果诸物体在一致上是相等的,美就随变化而异。”在一定范围内变化愈丰富,物体也就显得愈美。“文似观山不喜

期刊

非对称结构缝

日粮精粗比对瘤胃发酵特性的影响

试验采用体外发酵法进行不同精粗比日粮和培养时间对瘤胃发酵特性的影响研究。试验日粮精粗比分别为40∶60的A日粮(粗料仅为秸秆玉米)、40∶60和60∶40的B和C日粮(粗料仅为青

期刊

日粮精粗比体外发酵甲烷奶牛

金融深化影响经济增长的有效路径分析

一、引言随着市场化改革进程不断深入，中国的经济总量保持了快速增长，国内生产总值由1978年的3624．1亿元上升为2004年的136515亿元，人均国内生产总值同期则由379元上升为10561元，G

期刊

金融深化程度消费信贷时序变量因果关系检验格兰杰原因总需求协整关系似然比统计量名义利率单位根检验平稳性检验滞后阶数有效路径

利培酮联用丙戊酸钠缓释片治疗精神分裂症兴奋躁动研究

目的探讨利培酮联用丙戊酸钠缓释片治疗精神分裂症兴奋躁动的临床疗效。方法 62例精神分裂症患者,随机分为联用组（30例）与对照组（32例）。联用组采用利培酮联用丙戊酸钠缓释片治疗

期刊

利培酮丙戊酸钠缓释片氟哌啶醇精神分裂症

优质护理在老年无痛性心肌缺血患者护理中的应用

目的探讨优质护理在老年无痛性心肌缺血患者护理中的应用效果。方法选取90例老年无痛性心肌缺血患者，按照入院顺序将所有病例分为观察组与对照组，各45例，观察组患者实施优质护理

期刊

优质护理老年无痛性心肌缺血应用效果

生长模式控制对MOCVD生长GaN性能的影响

与本文相关的学术论文