【摘 要】
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报道了准分子ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）紫外激光刻蚀Ｃ６０膜的实验研究及对刻蚀薄膜的形貌分析。基于形貌分析的结果提出其刻蚀机理。
The experimental study on the excimer XeCl (308 nm) UV laser etc
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所，上海机械工业部材料研究所
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报道了准分子ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）紫外激光刻蚀Ｃ６０膜的实验研究及对刻蚀薄膜的形貌分析。基于形貌分析的结果提出其刻蚀机理。
The experimental study on the excimer XeCl (308 nm) UV laser etching C60 film and the morphology analysis of the etched film were reported. Based on the results of morphology analysis, the etching mechanism was proposed.
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