【摘 要】
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<正> 根据多层膜反射镜原理建立的X射线光学系统可获得微细物体放大成像的分辨率为0.2μm(波长为20nm时)。这个系统由激光等离子体光源、X射线聚光镜、20~x倍施瓦兹希尔德物
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<正> 根据多层膜反射镜原理建立的X射线光学系统可获得微细物体放大成像的分辨率为0.2μm(波长为20nm时)。这个系统由激光等离子体光源、X射线聚光镜、20~x倍施瓦兹希尔德物镜、滤光片组和探测器组成。所使用的高质量的X光光学零件和精密调整光学系统,可获得在全通光口径下的分辨率为0.2μm,用二倍频Nd激光器,脉冲能量为0.5J,在一个脉冲间隔1.5ns时间内获得曝光是足够的。
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