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减反射膜在太阳电池应用中非常重要,然而传统的双层镀膜减反射膜已无法满足GaAs电池的拓展需要.因此,本研究在之前双层镀膜的基础上进行新薄膜结构的设计优化.使用溶胶一凝胶法制备出新结构的3层减反射膜.通过XRD对薄膜晶体结构进行分析,使用椭偏仪对薄膜折射率和物理厚度进行测试,使用分光光度计对减反射膜减反射效果进行验证.通过对3层减反射膜的折射率和物理厚度进行优化,成功在无窗口层的GaAs衬底上制备出350-1800 nm波段平均反射率为10.34%的3层减反射膜.