PCVD法制高Si钢片的研究

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一般软磁硅钢含硅最小于3.5%,超过此限则难于加工。为了提高硅钢的磁性,除通过冷轧提高硅钢织构度外,最有效的方法是提高钢片硅含量,达6.5%Si最佳。由于超过3.5%Si含量的钢,无法轧制成薄片,为此用等离子体化学气相沉积方法(thePlasmaEnhacedChemicalVaporDeposition),在0.1-0.3mm厚的普通硅钢片表面涂硅,再进行短时间高温扩散,使硅钢平均含硅量可达6.
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