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本文首先介绍了泰维克纸在半导体晶圆运输中的用途，接着介绍了泰维克纸品质控制的检测方法：离子色谱（IC）分析。在测试中发现不同分析设备测试磷酸根（PO4-3）结果差异较大。为了结果准确性，作者通过使用（电感耦合等离子发射光谱）ICP/MS检测PO含量，间接分析出了磷酸根含量，通过再次优化IC分析条件，精确分析出了磷酸根真实含量并对结果做了回收率及结果验证。由此作者提出了ICP/MS辅助IC设备优化分离酸根离子新方法，同时指出了该辅助方法的适用适用条件。