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综述了用于248 nm化学增幅型深紫外光刻胶的不同种类和结构的成膜树脂,以及所使用单体的研发进展,包括聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、聚对羟基苯乙烯及其衍生物、N取代的马来酰亚胺衍生物,以及其他聚合物等,对不同结构成膜树脂的曝光条件、对光刻胶性能的影响进行了介绍。
248 nm深紫外光刻胶用成膜树脂的研究进展
【摘 要】
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综述了用于248 nm化学增幅型深紫外光刻胶的不同种类和结构的成膜树脂,以及所使用单体的研发进展,包括聚甲基丙烯酸甲酯及其衍生物、聚对羟基苯乙烯及其衍生物、N取代的马来
【机 构】
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中国石油化工股份有限公司北京化工研究院燕山分院,橡塑新型材料合成国家工程研究中心
【出 处】
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影像科学与光化学
【发表日期】
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2020年3期
【基金项目】
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中石化总部项目(G3365-2019-Z1912)
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