论文部分内容阅读
非极性GaN材料解决了传统GaN材料中的极化现象，具有较好的应用前景。用金属有机物化学气相沉积方法，在r面蓝宝石上生长了Mg注入非极性a面GaN薄膜，并选取650℃、750℃、850℃这3个温度对Mg注入GaN薄膜进行退火温度研究。用原子力显微镜、光致发光谱、拉曼谱研究了材料的表面形貌、光学性质以及面内应力。结果表明，在750℃退火时效果较好。