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随着电子产品性能的不断提高。对电子产品制造水平提出了前所未有的高要求。例如。在先进电子制造过程中，为了保证产品的性能．要求很多部件表面达到超光滑．其特征为表面粗糙度达到纳米级以下。采用抛光技术如化学机械抛光技术是实现部件表面超光滑的重要手段，其中抛光液是抛光技术中的关键要素。
纳米粒子抛光液
【摘 要】
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随着电子产品性能的不断提高。对电子产品制造水平提出了前所未有的高要求。例如。在先进电子制造过程中，为了保证产品的性能．要求很多部件表面达到超光滑．其特征为表面粗糙度达
【出 处】
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表面工程资讯
【发表日期】
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2005年1期
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