【摘 要】
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经过机械研磨和离子溅射等一系列减薄过程制备的透射电子显微镜薄膜样品表面会不可避免地受到一定程度的损伤,材料结构损伤尽管只是发生在表面,也会影响对样品真实微结构的观
【机 构】
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南京腾元软磁有限公司南京急冷材料工程技术研究中心,江苏非晶电气有限公司,中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室
【基金项目】
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江苏省重点研发计划项目（项目批准号BE2015216）
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经过机械研磨和离子溅射等一系列减薄过程制备的透射电子显微镜薄膜样品表面会不可避免地受到一定程度的损伤,材料结构损伤尽管只是发生在表面,也会影响对样品真实微结构的观测和表征结果,因此去除样品表面的损伤层对于材料微结构研究具有重要意义。本文介绍了如何利用低能离子枪去除透射电子显微镜薄膜样品表面损伤的方法、实验技巧和操作技术的细节,以及利用透射电子显微镜评价对样品表面损伤结构的剥离效果,为获得更丰富的微观结构信息,更好地研究材料微观结构的细节奠定基础。
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