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以氯氧锆，脲和氨水为原料，用化学沉淀法制作先驱体，然后热处理米制作纳米氧化锆粉末。所得到的沉淀物为非晶态，其差热分析结果显示，在３００℃热处理即可得无定型氧化锆粉末粒度和该粉末在４５０℃则完全晶化为亚稳四方氧化锆相。同时，Ｘ射线衍射显示，在６００℃以下热处理１ｈ所得的氧化锆粉末为亚稳四方相，到７００℃时开始出现稳定的单斜相，并且单斜相的含量随保温时间的延长而增加。用此方法制得的粉末为纳米相，粒径随