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期刊论文
氮化铝的应用及其主要制法
氮化铝的应用及其主要制法
来源 :云南化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lhmsgy
【摘 要】
:
AlN(氮化铝)具有优良的热传导性、绝缘性、透光性、耐高温及抗腐蚀性,是制半导体集成电路基板、熔铸纯铁、铝及其合金的理想坩埚材料。AlN 有高导热和低膨胀系数,是目前较好
【作 者】
:
谌取良
【机 构】
:
四川自贡市化工技术情报中心站
【出 处】
:
云南化工
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
氮化铝
高导
热传导性
低膨胀系数
耐热冲击
光性
半导体集成电路
原料粉
抗腐蚀性
平均粒径
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AlN(氮化铝)具有优良的热传导性、绝缘性、透光性、耐高温及抗腐蚀性,是制半导体集成电路基板、熔铸纯铁、铝及其合金的理想坩埚材料。AlN 有高导热和低膨胀系数,是目前较好的耐热冲击性材料。尤其它的透光性,被选作生产各种精细陶瓷的辅助添加剂,受到了人们极大的重视。
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