【摘 要】
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研究利用反应磁控溅射法在高速钢基体上制备TiAlN薄膜材料，采用XRD测试薄膜晶体结构，用UMT显微力学测试仪测试薄膜摩擦系数。在此基础上讨论铝含量、直流偏压及后期处理对薄膜
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研究利用反应磁控溅射法在高速钢基体上制备TiAlN薄膜材料，采用XRD测试薄膜晶体结构，用UMT显微力学测试仪测试薄膜摩擦系数。在此基础上讨论铝含量、直流偏压及后期处理对薄膜摩擦系数的影响。结果表明，不同铝含量的TiAlN薄膜中都存在面心立方相和六方相，随着铝含量的增高，面心立方相比例逐渐减小，六方相增多。铝的引入使膜层的硬度明显提高。随着Al含量增加，GCr15与TiAlN膜层之间的摩擦系数下降。另外，直流偏压和后期处理亦可显著改善薄膜的抗摩擦性能。
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