氮化铝粉末制备工艺的研究

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本文介绍了氮化铝(AlN)陶瓷的特性,并以金属铝直接氮化法和氧化物高温碳还原氮化法为重点,阐述了AlN粉末的各种制备工艺及反应机理、主要工艺参数的影响,对各种方法的优缺点进行了评述。提出:还原法和直接氮化法是目前较成熟的方法,而气相反应法具有较好的推广应用前景。
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