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本文采用能谱技术对石英微机械振动陀螺振子微观所显示的各个区域及边缘不规则堆积物检测,旨在提高微电子加工水平.
石英微机械振动陀螺振子的失效分析
【摘 要】
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本文采用能谱技术对石英微机械振动陀螺振子微观所显示的各个区域及边缘不规则堆积物检测,旨在提高微电子加工水平.
【机 构】
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电子科技大学微固学院分析中心(四川成都)成都理工大学电镜室(四川成都)
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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2003年11期
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