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<正> 一、概述虽然远在1890年,德国Erlwein等人,就利用化学气相沉积(CVD)法,在白炽灯的灯丝上沉积了TiC涂层,延长了灯泡的使用寿命。但直到本世纪五十年代中
化学气相沉积在机械工业中的应用
【摘 要】
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<正> 一、概述虽然远在1890年,德国Erlwein等人,就利用化学气相沉积(CVD)法,在白炽灯的灯丝上沉积了TiC涂层,延长了灯泡的使用寿命。但直到本世纪五十年代中
【机 构】
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山东化工学院
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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1983年02期
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