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期刊论文
C掺杂GaAs外延层的MOCVD生长
C掺杂GaAs外延层的MOCVD生长
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sddcx
【摘 要】
:
以CCl4为掺杂源,利用EMCORE D125 MOCVD系统生长了不同C掺杂浓度的GaAs外延层.通过Hall、PL、DXRD以及在位监测工具Epimetric等手段研究了掺C GaAs层的电学特性、光学特性、
【作 者】
:
李建军
韩军
邓军
邢艳辉
刘莹
沈光地
【机 构】
:
北京工业大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
MOCVD
GAAS
掺杂
MOCVD GaAs doping
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以CCl4为掺杂源,利用EMCORE D125 MOCVD系统生长了不同C掺杂浓度的GaAs外延层.通过Hall、PL、DXRD以及在位监测工具Epimetric等手段研究了掺C GaAs层的电学特性、光学特性、晶体质量和生长速度等.
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