【摘 要】
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本文介绍一种新型超精密机械加工微量进给装置及其单板机闭环控制系统。该装置采用 T 型弹性变形位移变换器,克服了传统微量进给机构的缺点,具有0.01μm 的高分辨率、±0.01
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本文介绍一种新型超精密机械加工微量进给装置及其单板机闭环控制系统。该装置采用 T 型弹性变形位移变换器,克服了传统微量进给机构的缺点,具有0.01μm 的高分辨率、±0.01μm 重复定位精度和稳定的动态特性,操作方便。
This article describes a new ultra-precision machining of micro-feed device and its single-board closed-loop control system. The device uses T-type elastic deformation displacement transducer to overcome the shortcomings of the traditional micro-feed mechanism with 0.01μm high resolution, ± 0.01μm repeat positioning accuracy and stable dynamic characteristics, easy to operate.
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