自动检测集成电路芯片系统设备的集成研究

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在制造业中,加工检测设备功能重复,工序重叠是常见的情况。本文研究将集成电路芯片制造厂的两套自动检测系统设备合并成为一套自动检测设备。实验表明,集成后的系统设备用一个检测工时可完成原来两套检测系统设备用两个检测工时的检测项目,检测效率可提高一倍,所用设备数目可减少1/2,厂房占用面积可节省1/2,可显著降低芯片生产成本,对制造业提高生产效益有重要参考意义。
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