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本文简要介绍激光蒸发淀积高Ｔｃ超导薄膜技术的基本原理．主要工艺特点，各种激光器在制备高Ｔｃ超导薄膜中的应用及所取得的重要成果．
激光蒸发淀积高Tc超导薄膜
【摘 要】
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本文简要介绍激光蒸发淀积高Ｔｃ超导薄膜技术的基本原理．主要工艺特点，各种激光器在制备高Ｔｃ超导薄膜中的应用及所取得的重要成果．
【机 构】
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西安电子科技大学物理系
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1990年06期
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