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用原子力显微镜和扫描电镜相结合的方法表征了KOH腐蚀后的Si掺杂GaN外延层中的位错腐蚀坑．根据腐蚀坑的不同形状和在表面的特定位置可将其分成三种类型，它们的起源可由一个关于腐蚀机制的模型加以解释．纯螺位错易于沿着由它结束的表面阶梯被腐蚀，形成一个小的Ga极性面以阻止进一步的纵向腐蚀，因而其腐蚀坑是位于两个表面阶梯交结处的截底倒六棱椎．纯刃位错易于沿位错线被腐蚀，因而其腐蚀坑是沿着表面阶梯分布的尖底倒六棱椎．极性在GaN的腐蚀过程中起了重要作用．