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在惯性约束聚变（ICF）实验研究中,三次谐波转换单元是ICF驱动器重要的组成部分,为了缩短晶体的在线调试发次与时间,需先对单元进行离线调试。其基本原理是,通过扫描、测量倍频和三倍频晶体在不同倾斜角度下的谐波转换效率,然后利用多项式函数拟合数据,绘制谐波转换效率随倾斜角度变化的调谐曲线,确定最佳匹配位。基于理论分析,设计了一套高精度、自动化的三倍频离线调试系统。通过对现有系统的改进实验,以及对结果的分析表明,系统自动工作性能良好,单点测试的重复精度为±30μrad,能量测量精度达到4%。