压电陶瓷微量进给机构

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<正> 超精密加工是当代机械制造最重要的发展方向之一,是现代航空、航天、微电子等尖端技术发展的基础。在超精密加工中,很重要的一点就是要实现刀架微量进给以及零件的在线检测,为了将进给精度控制在0.5μm的范围内,用传统的进给机构很难胜任此项工作,因此,更加有效的微量进给系统的研制是超精加工中一个很重要的课题。压电陶瓷(PZT)是通过逆压电效应或电致伸缩效应来产生位移。由于PZT没有电流热效应问题,并且能实现精密的微量进给,因此正日益受到人们的重视,
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