论文部分内容阅读
文章通过分析SiHCl3氢还原与尾气回收工艺过程,寻找伴生无定型硅生成的客观原因;根据无定型硅少产生、早拦截的原则,提出电子级多晶硅生产中无定型硅的预防措施,可以有效减少无定型硅的产生,提高气相沉积过程循环氢气纯度,进而提升电子级多晶硅产品质量。
电子级多晶硅生产尾气中无定型硅的产生原因及预防措施
【摘 要】
：
文章通过分析SiHCl3氢还原与尾气回收工艺过程,寻找伴生无定型硅生成的客观原因;根据无定型硅少产生、早拦截的原则,提出电子级多晶硅生产中无定型硅的预防措施,可以有效减少
【机 构】
：
青海黄河水电新能源分公司
【出 处】
：
化工管理
【发表日期】
：
2020年34期
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
目的:观察经皮椎体成形术配合益肾健骨汤治疗骨质疏松性胸腰椎压缩性骨折的疗效。方法:50例按随机分为两组各25例,两组均用经皮椎体成形术治疗,观察组配合口服益肾健骨汤。结
通过对断路器电容器特点及其损耗产生的分析，解释了断路器电容器常见的低场强下损耗角正切tanδ易于偏大以及随着时间的增加tanδ增长的现象，并提出解决措施。
在工程项目中,经常有用户提出电容器单元的耐爆能量要求,因此,认真分析爆破能量与电容器组及其结构的关系十分重要.
加强党的政治建设是新时代高校党建的核心要义。要坚持正确政治方向,培养中国特色社会主义事业建设者和接班人;坚定政治信仰,推进习近平新时代中国特色社会主义思想进教材、
本文立足宁波某高校的教学现状和育人实际,结合实地调研分析,探讨卫生健康类高职生职业发展视域下劳动教育的问题挑战,并从劳动观念、劳育课程、劳育资源等方面提出改善推进
目的：观察半夏白术天麻汤治疗眉棱骨痛的疗效。方法：将60例眉棱骨痛患者随机分为治疗组32例，对照组28例。治疗组以半夏白术天麻汤加减，每日1剂，4剂为1疗程。对照组以普鲁卡因2ml加
目的:观察加味桔梗汤治疗慢性咳嗽的疗效。方法:50例用加味桔梗汤(自拟)治疗。结果:痊愈40例,有效8例,无效2例,总有效率96%。结论:加味桔梗汤治疗慢性咳嗽效果较好,不良反应